ZSX Primus400波長(cháng)色散熒光儀-順序波長(cháng)色散XRF光譜儀

用于大樣品固體、液體、粉末、合金和薄膜的元素分析

Rigaku獨T的ZSX Primus 400順序波長(cháng)色散x射線(xiàn)熒光(WDXRF)光譜儀專(zhuān)門(mén)設計用于處理非常大和/或重的樣品。該系統可接受直徑達400毫米，厚50毫米，質(zhì)量30公斤的樣品，是分析濺射目標，磁盤(pán)或多層膜計量或大樣品元素分析的理想選擇。XRF與定制樣品適配器系統具有多功能性，以適應您的特定樣品類(lèi)型和分析需求，這款WDXRF光譜儀適用于各種樣品尺寸和形狀，使用可選的(定制)適配器插入。具有可變測量點(diǎn)(直徑30毫米至0.5毫米，5步自動(dòng)選擇)和多點(diǎn)測量的測繪能力，以檢查樣品均勻性，這種獨T靈活的儀器可以大大簡(jiǎn)化您的質(zhì)量控制過(guò)程。

XRF與可用的相機和特殊照明可選的實(shí)時(shí)攝像機允許在軟件中查看分析區域。操作者完Q確定正在測量的是什么。傳統的WDXRF分析能力傳統儀器的所有分析能力都保留在這種“大樣本"變體中。通過(guò)鈾(U)分析鈹(Be)，使用高分辨率，高精度WDXRF光譜，從固體到液體，從粉末到薄膜。分析較寬的成分范圍(ppm到10%)和厚度(?到mm)?？蛇x的是衍射峰干擾抑制，單晶襯底的最佳結果。Rigaku ZSX Primus 400波長(cháng)色散x射線(xiàn)熒光(WD-XRF)光譜儀符合行業(yè)標準SEMI和CE。

ZSX Primus 400 應用程序濺射靶成分隔離膜:SiO2、BPSG、PSG、AsSG、Si3N4、SiOF、SiON等。高氣和亞鐵電影:PZT, BST, SBT, Ta2Os, HfSiOx金屬薄膜：銅硅鋁、鎢、鈦、鈷、鈦、鉭、銥、鈀、釕、釕、鎳等。電極膜:摻雜多晶硅(摻雜劑:B、N、O、P、As)、非晶硅、WSix、Pt等。其他摻雜薄膜(As, P)，捕獲惰性氣體(Ne, Ar, Kr等)，C (DLC)鐵電薄膜，FRAM, MRAM, GMR, TMR;PCM, GST, GeTe焊料凹凸成分:SnAg, SnAgCuNiMEMS: ZnO, AIN, PZT的厚度和組成SAW器件工藝:AIN、ZnO、ZnS、SiO2(壓電薄膜)的厚度及組成;艾爾,鋁銅、鋁鎵、AITi（薄膜電極）

ZSX Primus 400 配件帶有特殊照明的樣品相機可以在屏幕上查看分析點(diǎn)衍射干擾抑制為單晶襯底提供了準確的結果基本參數軟件薄膜分析

ZSX Primus400波長(cháng)色散熒光儀特性

大樣本分析不超過(guò)400毫米(直徑)最大50mm(厚度)高達30公斤(質(zhì)量)樣本適配器系統適應各種樣品尺寸測量的位置直徑30毫米至0.5毫米五步自動(dòng)選擇映射能力允許多點(diǎn)測量示例視圖相機(可選)通用分析Be - U元素范圍:ppm到%厚度范圍:亞A至毫米衍射干擾抑制(可選)單晶襯底的精確結果遵從行業(yè)標準SEMI、CE標志占用空間小占用前代型號的50%