智能型Thick800A是天瑞儀器股份有限公司的集多年X熒光測厚儀經(jīng)驗，專(zhuān)門(mén)研發(fā)的一款上照式膜厚測試儀。儀器外觀(guān)簡(jiǎn)潔大方，通過(guò)自動(dòng)化的X軸Y軸Z軸的三維移動(dòng)，雙激光定位和保護系統，實(shí)現對平面、凹凸、拐角、弧面等各種簡(jiǎn)單及復雜形態(tài)的樣品進(jìn)行快速對焦精準分析。

性能優(yōu)勢

配          置——采用高分辨率SDD探測器;分辨率高達140eV
上照式設計——實(shí)現微小不規則表面樣品如弧形，拱上照式設計形，凹槽，螺紋等異形的快、準、穩高效檢測
高精度自動(dòng)化的X軸Y軸Z軸的聯(lián)動(dòng)裝置實(shí)現對樣品的精準對焦快速檢測
采用高度自動(dòng)定位激光，可快速精準定位測試高度，以滿(mǎn)足不同尺寸的鍍層測試
多種準直孔可供選擇——準直孔：0.05*0.3mm；Ф0.1mm；Ф0.2mm；Ф0.3mm；Ф0.5mm
定位精準——樣品可快速精準定位
操作簡(jiǎn)易——全自動(dòng)智能集成設計，讓檢測輕松完成

技術(shù)優(yōu)勢

儀器配置高

圖1

圖2

智能型X射線(xiàn)熒光鍍層測厚儀

智能型Thick 800A采用的是業(yè)內的SDD半導體電制冷探測器，分辨率可達140eV,可以很好的區分相鄰元素譜峰。
以Au/Ni/Cu鍍層為例，正比計數盒儀器譜圖如圖一，從譜圖可以看出銅鎳兩元素的譜峰重疊嚴重，金的峰形與樣品本底重疊；不利于元素準確分析。
圖二是半導體SDD儀器測試Au/Ni/Cu的光譜圖，從譜圖可以看出銅鎳金這三個(gè)元素的譜峰得到很明顯的區分，有利于元素精準分析。

聚焦光路設計

智能型Thick 800A采用*的光路交換裝置，讓X射線(xiàn)與攝像光處于同一垂直線(xiàn)，達到激光點(diǎn)與測試點(diǎn)一體，且X光高度聚焦；配合FP軟件達到對焦變焦功能，實(shí)現微小不規則樣品的精準測試；高集成的光路交換裝置與接收器的角度可縮小一倍，有效的減少弧度傾斜放樣帶來(lái)的誤差。

特制濾波片實(shí)現低背景測量

通過(guò)特制濾波片可以有效降低X熒光的吸收與增強作用，減小背景散射，提高對超薄金屬元素的檢出限（可以達到0.005um），實(shí)現超薄金屬鍍層厚度分析。

高精度定位技術(shù)

高精度移動(dòng)平臺可精確定位測試點(diǎn)，平臺電機重復定位精度小于0.005mm；移動(dòng)平臺可通過(guò)測試軟件可視化操作：鼠標可控制移動(dòng)平臺，鼠標點(diǎn)擊的位置就是被測點(diǎn)。

FP算法

智能型Thick 800A分析核心技術(shù)----FP算法
元素厚度精準檢測
微區分析、薄膜分析、高級次譜線(xiàn)分析

更加專(zhuān)業(yè)和人性化的測試軟件

①主界面增加曲線(xiàn)快速切換功能；
②鼠標移動(dòng)快捷鍵更改不需要ctrl，鼠標點(diǎn)哪，樣品平臺就會(huì )移動(dòng)到哪里，更加方便客戶(hù)測試；
③鍍層厚度自動(dòng)判定，客戶(hù)可以根據需要自定義判定標準；
④工作曲線(xiàn)界面加入備注名稱(chēng)可編輯，并可以顯示在主界面曲線(xiàn)界面，對英文元素做備注說(shuō)明，方便客戶(hù)區分，界面對客戶(hù)更加友好
⑤自動(dòng)生成測試報告，測試歷史數據查看、檢索等
⑥行業(yè)解決方案，如精密部件釹鐵硼鍍鎳鍍銅再鍍鎳，電泳漆測厚度，鋁塑膜測試鍍鋁的厚度等